本文给出了透明基体上的单层薄膜在激光辐照下的温度分布和光热形变偏转信号的理论表达式。通过数值计算,分析了偏转信号与薄膜参......

采用“交替隐型算法”对光学薄膜中的加热过程进行了数值分析, 求解得到了薄膜中的二维温度场, 并给出了一些计算实例。......

基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时......

本文以TiO2/SiO2及ZrO2/SiO2膜系为例,研究了A(HL)~mHG、A[(2p 1)HL]~m(2p 1)HG以及A[H(2q 1)L]~mHG等不同膜系结构对激光损伤阈值......

本文首次把调制与脉冲光热偏转技术同时置于激光损伤测试装置之中,用以进行光学薄膜激光损伤的实时研究.初步实验结果表明,该方法......

在超大规模集成电路中, 为满足数值孔径为1.35、波长为193 nm的光刻曝光系统45 nm的成像分辨率要求, 设计了一种新型光可变衰减器,......

用横向光热偏转技术研究光学薄膜的吸收损耗.结果表明:对ZrO2、MgF2、ZnS等单层膜,薄膜-基底界面吸收、空气-薄膜界面吸收以及薄膜......

通过对宽光谱膜厚监控原理分析，设计出一套便携的嵌人式宽光谱在线膜厚监控系统。该系统基于ARM9内核微控制器S3C2440，采用Linux操作......